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    下載一種同步移相橫向剪切干涉儀及檢測方法的技術資料

    文檔序號:8561628

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    本發明公開了一種同步移相橫向剪切干涉儀及檢測方法,屬于精密測量的技術領域。所述同步移相橫向剪切干涉儀包括置于殼體內的光學元器件。包括兩個在主光軸上依次同心設置且垂直于柵線的衍射光柵,平行于光柵設置的空間濾波器,與空間濾波器呈四十五度夾角設置...
    該專利屬于南京信息工程大學所有,僅供學習研究參考,未經過南京信息工程大學授權不得商用。

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