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本發(fā)明公開了一種MEMS矢量水聽器纖毛自動(dòng)化粘接裝置及方法，該粘接裝置包括：切割?yuàn)A鉗系統(tǒng)、切割驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、纖毛輸送系統(tǒng)、芯片載臺(tái)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)、紫外線固化機(jī)、紫外光機(jī)照射頭和電控箱。本發(fā)明提供的MEMS矢量水聽器纖毛自動(dòng)化粘接裝置及方法中粘接使用的...該專利屬于蘇州大學(xué)所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過蘇州大學(xué)授權(quán)不得商用。