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    下載襯底的激光熱處理中即時失效的快速檢測的技術資料

    文檔序號:853195

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    本發明公開了一種熱處理系統(10),該熱處理系統包括以激光器波長發射光的激光陣列(34),襯底支撐,設置在所述源和所述襯底支撐之間并且利用激光輻射源發射的光在襯底的襯底平面上形成直線光束的光學片(48、52、62、64、66、70),以及掃...
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