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本發明公開了一種表面微機械加工的模擬微鏡，該模擬微鏡包括微鏡面、扭轉梁、第一驅動梁、錨區、壓焊區、襯底、隔離層和第二驅動梁，所述的錨區為四個，錨區位于襯底上方，且隔離層連接在錨區和襯底之間；每個錨區的頂面設有一個壓焊區；第一驅動梁的兩端連接...
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