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深紫外氟化物薄膜元件污染物吸附能力的分析方法，屬于深紫外光學技術應用領域，該方法包括一：測試氟化物薄膜樣品在鍍制完成之初的反射率R0或透過率T0；二：氟化物薄膜樣品在放置于應用環(huán)境系統(tǒng)中使用或存儲一段時間后，測試樣品吸附有機物和水汽后的反射...該專利屬于中國科學院長春光學精密機械與物理研究所所有，僅供學習研究參考，未經過中國科學院長春光學精密機械與物理研究所授權不得商用。