溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。
本發明涉及一種高局部平整度重摻硅晶圓拋光片的無蠟拋光工藝，其步驟是：1.清潔陶瓷盤，將陶瓷盤浸泡后，用純水沖洗其表面，收集沖洗純水進行液體顆粒度測試，滿足要求即可使用；2.將吸附墊粘貼在陶瓷盤表面；3.刷洗吸附墊表面并用純水浸濕；4.將重摻...該專利屬于天津中環領先材料技術有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過天津中環領先材料技術有限公司授權不得商用。
溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。
本發明涉及一種高局部平整度重摻硅晶圓拋光片的無蠟拋光工藝，其步驟是：1.清潔陶瓷盤，將陶瓷盤浸泡后，用純水沖洗其表面，收集沖洗純水進行液體顆粒度測試，滿足要求即可使用；2.將吸附墊粘貼在陶瓷盤表面；3.刷洗吸附墊表面并用純水浸濕；4.將重摻...