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    下載激光加工裝置及使用激光加工裝置的被加工物的加工方法的技術資料

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    提供一種即使光束輪廓相對于行進方向并非各向同性,亦可減少朝正交的兩個方向進行加工時的加工精度不均的激光加工裝置及使用激光加工裝置的被加工物的加工方法。激光加工裝置的光學系統包括:分支機構,使從激光光源出射的激光分成第一分支光及第二分支光;轉...
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