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本發(fā)明涉及利用超短脈沖激光從兩面切割加工對象物的方法和裝置，其中該方法包括：提供第一激光束和第二激光束；將第一激光束聚焦于加工對象物的第一側(cè)的表面上，由此對第一側(cè)的表面進行切割；將第二激光束聚焦于加工對象物的與所述第一側(cè)相反的第二側(cè)的表面上...該專利屬于蘇州德龍激光有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過蘇州德龍激光有限公司授權(quán)不得商用。