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本發(fā)明公開了一種基于紫外光的干式清洗方法，特別涉及一種用于清洗TFT-LCD玻璃基板表面上有機污染物的紫外光清洗方法。將該干式清洗方法與濕式清洗方法這兩種技術(shù)有效結(jié)合起來,TFT-LCD玻璃基板表面經(jīng)過超聲波清洗、高壓水噴淋兩種不同類型的濕...該專利屬于江蘇宇迪光學(xué)股份有限公司;江蘇大學(xué)所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過江蘇宇迪光學(xué)股份有限公司;江蘇大學(xué)授權(quán)不得商用。