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用于借助微波生成等離子體用來對襯底進行CVD涂層的裝置（1）具有反應氣體可被輸送到的真空箱（2）和布置在其中的電導體（3），所述電導體在其兩個端部處分別與用于耦合輸入微波的裝置（6）以及與電壓源（7）相連接，用該電壓源（7）可在電導體（3）...
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