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本發(fā)明涉及用于等離子體浸沒離子注入的劑量測量設(shè)備，該設(shè)備包括：估算注入電流的估算模塊CUR，次生電子檢測器DSE，以及用于通過注入電流與來自次生電子檢測器的電流之差來估算離子電流的控制電路CC。此外，高能次生電子檢測器DSE包括專門支承互相...該專利屬于離子射線服務(wù)公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過離子射線服務(wù)公司授權(quán)不得商用。