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僅將被校正流量控制器的出口側開閉閥開放而使設定流量的氣體向校正單元（5）流入，在箱內氣體壓力及氣體溫度穩定的時刻t0，計測第1次的箱內的氣體溫度T0及氣體壓力P0，然后將校正單元（5）的出口側開閉閥（V2）封閉而進行向箱（BT）內的氣體的積...
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