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描述了確定結構的光學計量的材料光學特性的方法。一種方法包括基于兩個或更多個方位角和基于一個或多個入射角來模擬光柵結構的衍射級的集合。然后基于衍射級的集合提供模擬的光譜。另一種方法包括基于兩個或更多個入射角來模擬光柵結構的衍射級的集合。然后基...該專利屬于克拉-坦科股份有限公司;東京毅力科創株式會社所有，僅供學習研究參考，未經過克拉-坦科股份有限公司;東京毅力科創株式會社授權不得商用。