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本發明提供一種能同時檢測多個物理量的物理量傳感器及其制造方法。整體上具有可撓性或者柔性的物理量傳感器（100）具備：基板（1）；電極層（2），其形成在基板（1）上；壓電元件（3a）和壓電元件（3b），并列設置在電極層（2）上；電極層（4a、...該專利屬于獨立行政法人科學技術振興機構所有，僅供學習研究參考，未經過獨立行政法人科學技術振興機構授權不得商用。
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本發明提供一種能同時檢測多個物理量的物理量傳感器及其制造方法。整體上具有可撓性或者柔性的物理量傳感器（100）具備：基板（1）；電極層（2），其形成在基板（1）上；壓電元件（3a）和壓電元件（3b），并列設置在電極層（2）上；電極層（4a、...