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本發(fā)明公開一種二氧化鈦太陽能電池減反射膜的制備方法，包括如下步驟：(1)對擴散爐抽真空，保持爐內(nèi)溫度420℃；(2)沉積二氧化鈦薄膜，溫度為460℃，以氧氣為反應(yīng)氣體、氬氣為濺射氣體，濺射靶是直徑為8cm的鈦靶，氧氣流量為8-15mL/mi...該專利屬于江蘇晨電太陽能光電科技有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過江蘇晨電太陽能光電科技有限公司授權(quán)不得商用。