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本發(fā)明公開(kāi)了在光伏電池上產(chǎn)生鈍化層的沉積方法。所述方法包括沉積包含至少進(jìn)一步包括氧化硅和氮化硅層的雙層的鈍化層。在一個(gè)方面，用于沉積氧化硅層或氮化硅層的硅前體分別選自SiRxHy族，或選自SiRxH族、硅烷及其組合，其中，在SiRxHy中，...該專(zhuān)利屬于氣體產(chǎn)品與化學(xué)公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)氣體產(chǎn)品與化學(xué)公司授權(quán)不得商用。