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本發明提供一種薄膜晶體管陣列基板的制作方法,包括:提供一襯底基板;在襯底基板上形成金屬薄膜,由構圖工藝形成包括柵線的圖形;在形成柵線圖形的襯底基板上形成柵絕緣層、半導體薄膜、摻雜半導體薄膜和數據金屬層薄膜,由構圖工藝形成包括圖案化的柵絕緣層...該專利屬于京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司所有,僅供學習研究參考,未經過京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司授權不得商用。