溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。
本發明提供一種薄膜晶體管陣列基板的制作方法，包括：提供一襯底基板；在襯底基板上形成金屬薄膜，由構圖工藝形成包括柵線的圖形；在形成柵線圖形的襯底基板上形成柵絕緣層、半導體薄膜、摻雜半導體薄膜和數據金屬層薄膜，由構圖工藝形成包括圖案化的柵絕緣層...該專利屬于京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司授權不得商用。