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本發(fā)明涉及一種能實(shí)現(xiàn)雙向流動(dòng)的超聲流微泵，它由多個(gè)聲流微泵單元串接而成，每個(gè)聲流微泵單元的流體腔包括入口腔、出口腔、聲流腔和回流腔四部分形成H形腔體結(jié)構(gòu)，其中入口腔、回流腔在水平方向相接，相接處垂直連接聲流腔，聲流腔頂端垂直連接出口腔，每個(gè)...該專利屬于山東大學(xué)所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)山東大學(xué)授權(quán)不得商用。