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    下載銅及銅合金的蝕刻液組合物及蝕刻方法的技術資料

    文檔序號:8485335

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    本發明的目的在于提供一種蝕刻液組合物以及使用該蝕刻液組合物的蝕刻方法。所述蝕刻液組合物以良好的精度對含有銅層以及銅氧化物層和/或銅合金層的金屬層壓膜進行蝕刻加工,形成優異的截面形狀,并且實用性優異,穩定因而使用期限較長。本發明涉及一種蝕刻液...
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