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本發明提出一種MOCVD設備包括本體；分別形成在所述本體中的第一至第五反應腔室，所述第一至第五反應腔室分別用于在晶片上形成第一至第五半導體材料層，其中所述第一至第五半導體材料層和所述晶片組合以形成白光LED；晶片裝卸裝置，所述晶片裝卸裝置用...該專利屬于北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司所有，僅供學習研究參考，未經過北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司授權不得商用。