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一種基板供給裝置（1），能在短時(shí)間內(nèi)更換基板，其包括：多個(gè)臂部（4），這些臂部（4）設(shè)置成能一體地旋轉(zhuǎn)及升降，且繞轉(zhuǎn)軸對(duì)稱地設(shè)置；多個(gè)小平臺(tái)（6），這些小平臺(tái)（6）分別被支承成與臂部（4）之間存在游隙，且所述小平臺(tái)能對(duì)基板進(jìn)行保持；以及主平...該專利屬于中外爐工業(yè)株式會(huì)社所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過中外爐工業(yè)株式會(huì)社授權(quán)不得商用。