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本發明公開了屬于氣相二氧化硅生產中HCl回收技術領域的一種氣相二氧化硅生產中HCl的回收工藝及裝置。將尾氣通入該系統中,通過文丘里吸收器、酸分離器、酸吸收塔、酸洗塔和解析塔等設備回收HCl。不僅將尾氣中的HCl充分回收,減少了資源的浪費,而...該專利屬于赤峰盛森硅業科技發展有限公司所有,僅供學習研究參考,未經過赤峰盛森硅業科技發展有限公司授權不得商用。
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