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本發(fā)明為一種能夠高效地將UV樹(shù)脂剝?nèi)〉摹⑹褂昧烁杀w粒的清洗方法。本發(fā)明的清洗方法是，相對(duì)于固定在固定夾具上的清洗對(duì)象物，使用干燥空氣來(lái)噴射干冰顆粒，而對(duì)所述對(duì)象物的表面進(jìn)行清洗的方法。干燥空氣的露點(diǎn)為-60℃至-80℃。具有將干燥空氣和干...該專(zhuān)利屬于株式會(huì)社日本顯示器東所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)株式會(huì)社日本顯示器東授權(quán)不得商用。