溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。
本發明涉及半導體清洗工藝技術領域，具體涉及一種防止液體飛濺的清洗裝置及具有該裝置的清洗系統。該防止液體飛濺的清洗裝置，包括上殼和下殼，上殼可相對下殼上下運動，上殼包括上殼內壁和上殼外壁，上殼內壁和上殼外壁之間形成中空腔，上殼內壁上設有多個進...該專利屬于北京七星華創電子股份有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過北京七星華創電子股份有限公司授權不得商用。
溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。
本發明涉及半導體清洗工藝技術領域，具體涉及一種防止液體飛濺的清洗裝置及具有該裝置的清洗系統。該防止液體飛濺的清洗裝置，包括上殼和下殼，上殼可相對下殼上下運動，上殼包括上殼內壁和上殼外壁，上殼內壁和上殼外壁之間形成中空腔，上殼內壁上設有多個進...