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一種加速度計，包括：測量體、與所述測量體相連接的上蓋板硅片以及下蓋板硅片；所述測量體包括框架、位于所述框架內的彈性梁和質量塊；所述質量塊與所述框架通過多組所述彈性梁相連接，每組所述彈性梁包括兩根彈性折疊梁,所述彈性折疊梁以所述質量塊的中線為...該專利屬于中國科學院地質與地球物理研究所所有，僅供學習研究參考，未經過中國科學院地質與地球物理研究所授權不得商用。
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