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一種用于自補(bǔ)償?shù)姆椒ǎ摲椒òㄏ率霾襟E：將圖案元件相對(duì)于讀頭旋轉(zhuǎn)，該旋轉(zhuǎn)圍繞軸線達(dá)到覆蓋至少360度的范圍的多個(gè)第一角度；在多個(gè)第一角度的每個(gè)處，均獲得基準(zhǔn)讀頭和m個(gè)測(cè)量讀頭的第一角度讀數(shù)；計(jì)算m個(gè)測(cè)量讀頭中的每個(gè)的第一數(shù)組，對(duì)于所述多個(gè)...該專利屬于法羅技術(shù)股份有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過法羅技術(shù)股份有限公司授權(quán)不得商用。