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本發明公開了一種用于從含有至少一種硅前體化合物的氣體來制造多晶硅的方法。該方法可以在化學氣相沉積系統中從含有多晶硅前體化合物的氣體實現，包括：在化學氣相沉積反應室中建立氣體的第一流型，促進至少一種前體化合物的至少一部分從具有第一流型的氣體反...
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