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本發(fā)明公開了一種大行程結(jié)構(gòu)的靜電驅(qū)動MEMS變形鏡，其中包括：鏡面，為一矩形的平板鏡面；上電極，為一矩形的平板上電極；梁，是含有四根矩形的柱體梁；兩個錨點，分別固接于每根梁的兩個端部，且兩個錨點分別位于每根梁相互垂直的平面上；硅基底，在其內(nèi)...該專利屬于中國科學院光電技術(shù)研究所所有，僅供學習研究參考，未經(jīng)過中國科學院光電技術(shù)研究所授權(quán)不得商用。