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本發明涉及懸臂的彈簧常數確定方法及采用該方法的掃描型探針顯微鏡。由于掃描型探針顯微鏡等使用的硅加工中的各向異性蝕刻而剖面形狀為梯形形狀的懸臂中，不用直接測量厚度而確定懸臂的彈簧常數。從剖面的梯形的上底和下底的長度及由于各向異性蝕刻而出現的面...
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