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    下載一種具有自封裝結構的貼片式單電阻壓阻式壓力傳感器的技術資料

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    一種具有自封裝結構的貼片式單電阻壓阻式壓力傳感器,涉及一種壓力傳感器。設芯片主體、壓敏電阻、連接錨點、金屬層、鑲嵌電路、印刷電路板、電極、錫釬焊和壓力腔;芯片主體設帶空腔的玻璃晶圓片和硅薄膜,玻璃晶圓片與硅薄膜通過陽極鍵合結合;壓敏電阻設在...
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