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    下載一種硼鎵共摻的重摻P型單晶硅的生長及摻雜方法的技術(shù)資料

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    本發(fā)明公開了一種硼鎵共摻的重摻P型單晶硅的生長及摻雜方法,包括如下步驟:(1)清潔;(2)將準(zhǔn)備好的多晶硅及摻雜硼粉放入石英坩堝中;(3)用氬氣多次沖洗單晶爐并抽真空;(4)開啟加熱器進行加溫熔化多晶硅;(5)待多晶硅完全熔化,下調(diào)加熱器功...
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