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一種PECVD噴淋電極，所述的電極（5）外形為圓桶形，上部有開口，下部有底；電極（5）的內部空間被帶有通孔的初級氣體勻氣板（2）分成上下兩部分，下部空間為初級氣體緩沖室（1），上部空間為二級氣體緩沖室（3）。初級氣體緩沖室（1）內有一用于調...
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