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一種將多晶硅副產二氯二氫硅在氣相進行氯化的方法，利用氫氣與氯氣穩定燃燒的火焰為起始反應空間，將二氯二氫硅通入到氫氣流中或直接通入到氫氯焰底部，同時按比例減少氫氣的流量，在氫氯焰的引發下，二氯二氫硅與氯形成穩定地氣相燃燒反應，二氯二氫硅被氯化...
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