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本發明公開了一種采用回轉窯制備四氟化硅的方法，該方法是將氟硅酸鈉與硫酸預反應后送入回轉窯中進一步反應，回轉窯窯內壓力-2～-5Kpa，窯內由前向后三段分別控制溫度在160～190℃、191～220℃、221～250℃，反應完成后，將四氟化硅...
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