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本發(fā)明涉及一種用于兩個(gè)盡可能平行布置的板之間的干涉測(cè)量的距離確定的裝置，裝置具有光源、至少一個(gè)射束分配元件、至少一個(gè)反射器元件和檢測(cè)單元。光源的射線束入射在第一板上的射束分配元件上被分配為基準(zhǔn)射線束和測(cè)量射線束。測(cè)量射線束入射在第二板的反射...該專(zhuān)利屬于約翰尼斯海登海恩博士股份有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)約翰尼斯海登海恩博士股份有限公司授權(quán)不得商用。