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本實(shí)用新型公開了一種去除單晶硅堝底料中石英的裝置,包括在保溫筒內(nèi)外壁分別設(shè)有加熱器及溫控顯示器;在保溫筒的內(nèi)底面上的底撐上放置有反應(yīng)釜,反應(yīng)釜與加熱器同心分布;保溫筒裝有上蓋板,反應(yīng)釜裝有反應(yīng)釜蓋板。本實(shí)用新型的裝置使用時(shí),向保溫筒內(nèi)加注自...該專利屬于寧夏隆基硅材料有限公司;銀川隆基硅材料有限公司;西安隆基硅材料股份有限公司;無錫隆基硅材料有限公司所有,僅供學(xué)習(xí)研究參考,未經(jīng)過寧夏隆基硅材料有限公司;銀川隆基硅材料有限公司;西安隆基硅材料股份有限公司;無錫隆基硅材料有限公司授權(quán)不得商用。