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    下載一種多晶硅尾氣干法回收中熱能回收系統的技術資料

    文檔序號:8397965

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    本實用新型公開了一種多晶硅尾氣干法回收中熱能回收系統,其特征在于,包括合成解析塔再沸器和冷卻器,所述合成解析塔再沸器的熱流體入口與120~150℃氫化或還原貧液氯硅烷入口連通,所述合成解析塔再沸器的熱流體出口與所述冷卻器連通。本實用新型實現...
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