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公開了一種含聚合物材料和金屬通孔的互連結構的制造方法包括:在基片上制作盲孔或通孔；在所述盲孔或通孔內填充聚合物；將金屬塊體插入填滿聚合物的盲孔或通孔內；對盲孔或通孔內聚合物進行固化處理；對基片的正面和背面進行研磨拋光，露出金屬。本發明可有效...
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