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本發(fā)明提供靜電卡盤以及半導體裝置或液晶顯示裝置的制造裝置，其課題是，在具備多個卡盤區(qū)域并且在設(shè)于其外側(cè)區(qū)域的凹面部中配置用于運送晶片的托盤的靜電卡盤中，提高可靠性。作為解決手段，該靜電卡盤包含：卡盤功能部(10)，其具有載置晶片(2)的多個...該專利屬于新光電氣工業(yè)株式會社所有，僅供學習研究參考，未經(jīng)過新光電氣工業(yè)株式會社授權(quán)不得商用。