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    下載傾斜結構體、傾斜結構體的制造方法、及分光傳感器的技術資料

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    本發明涉及傾斜結構體、傾斜結構體的制造方法、及分光傳感器。所述傾斜結構體的制造方法包括:工序(a),在基板的上方形成犧牲膜;工序(b),形成第一膜,所述第一膜包括與基板連接的第一部分、位于犧牲膜的上方的第二部分、位于第一部分及第二部分之間的...
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