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    下載物理量傳感器及電子設備的技術資料

    文檔序號:8386401

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    本發(fā)明提供一種物理量傳感器及電子設備,所述物理量傳感器能夠提高檢測靈敏度。加速度傳感器具備:底基板,其上設置有第一凹部;傳感器部,其被配置在第一凹部上,且通過支承部而以能夠在第一凹部的深度方向上擺動的方式被支承,傳感器部以支承部為界而被劃分...
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