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本發(fā)明涉及一種用于檢測玻璃襯底的表面缺陷的設備和方法用于檢測玻璃襯底的表面缺陷的設備，包含：第一照相裝置，安置在玻璃襯底上方以便拍攝玻璃襯底上的表面缺陷的第一圖像；第二照相裝置，安置在玻璃襯底上方以便拍攝玻璃襯底上的表面缺陷的第二圖像；暗場...該專利屬于三星康寧精密素材株式會社;寶斯拉視覺技術(shù)股份有限公司所有，僅供學習研究參考，未經(jīng)過三星康寧精密素材株式會社;寶斯拉視覺技術(shù)股份有限公司授權(quán)不得商用。