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    下載光學特性測量裝置以及光學特性測量方法的技術資料

    文檔序號:8386121

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    本發明提供一種光學特性測量裝置以及光學特性測量方法。光學特性測量裝置(100)具備光源(10)、檢測器(40)以及數據處理部(50)。數據處理部(50)具備建模部、分析部以及擬合部。將多個膜模型方程式聯立,假設包含在多個膜模型方程式中的光學...
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