溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。
本發(fā)明提供一種磨片機研磨盤下砂口的改良構(gòu)造，所述下砂口為垂直于水平面的通孔，位于所述研磨盤的上磨盤的磨盤基體內(nèi)，所述上磨盤還包括位于所述磨盤基體下方且與所述磨盤基體下表面緊密貼合的磨盤面，所述磨盤面內(nèi)部貫通有垂直于水平面的盤槽，所述下砂口的...該專利屬于天津市環(huán)歐半導(dǎo)體材料技術(shù)有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過天津市環(huán)歐半導(dǎo)體材料技術(shù)有限公司授權(quán)不得商用。