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本實用新型公開了一種真空工具鍍膜的陰極電弧裝置，其包括靶材等元件，靶材與冷水座連接，輔助陽極通過支撐柱固定在法蘭板的一面上，第一密封O型圈位于法蘭板的上方，絕緣板位于第一密封O型圈和第二密封O型圈之間，螺釘絕緣套套在第一內六角螺釘上，冷水座...
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