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    下載尺蠖式多自由度壓電驅動裝置的技術資料

    文檔序號:8367747

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    本發明涉及一種尺蠖式多自由度壓電驅動裝置,屬于精密加工領域。其轉子單元包括沿轉子和內嵌轉子的B型壓電疊堆,可實現轉子的步進直線運動;上層鉗固單元由A型壓電疊堆、A型楔形塊、B型楔形塊和開有三爪式自定心柔性鉸鏈的定子上層基板組成,壓電疊堆在通...
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