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一種低溫低表面濃度高方阻擴散工藝，包括進舟步驟、沉積步驟、推進步驟和出舟步驟，其特征在于：所述進舟步驟、沉積步驟反應溫度均低于800攝氏度。優選的，所述沉積步驟與推進步驟二者至少之一是按溫度不同分步進行的。進一步的，所述沉積步驟分為第一步沉...
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