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本發明提出一種紫外納米壓印系統，本發明涉及特征尺寸為納米級高分辨率圖形的制作裝置，屬納米加工技術領域。本發明由壓印系統箱體和真空泵組成，其中壓印系統箱體包括自動壓力控制器、自動真空度控制器、自動曝光時間控制器和真空工作室。該系統通過自適應定...
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