溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。
本發明屬于對位方法技術領域，公開了一種基板掩膜對位方法，首先在一掩膜版上形成多組對位標記圖案，并選取若干個大尺寸基板作為樣本基板，通過該掩膜版分別在每塊樣本基板上形成多組對位標記圖案，將樣本基板分為多個子基板區域，然后對樣本基板實施掩膜工藝...該專利屬于京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司授權不得商用。