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本發明公開一種高耦合效率的三維錐形端口結構光波導器件的制作方法，包括：一次離子交換步驟，在玻璃基體上進行第一次離子交換，形成玻璃基體表面的平面光波導；光波導掩埋步驟，在電場以及高溫環境下將所述光波導埋到玻璃基體中間，形成掩埋的平面光波導；二...該專利屬于深圳市中興新地通信器材有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過深圳市中興新地通信器材有限公司授權不得商用。
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本發明公開一種高耦合效率的三維錐形端口結構光波導器件的制作方法，包括：一次離子交換步驟，在玻璃基體上進行第一次離子交換，形成玻璃基體表面的平面光波導；光波導掩埋步驟，在電場以及高溫環境下將所述光波導埋到玻璃基體中間，形成掩埋的平面光波導；二...